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高硬度：涂层硬度可达 洛氏硬度 800-1200（如 TiN涂层 ），显著提升耐磨性
强附着力：通过离子轰击形成分子级键合，结合力超过50N/mm²，可实现基材与涂层的牢固结合
厚度可控：常规厚度为0.5-5μm，适用于不同需求场景
| 参数类别 | 典型范围/数值 | 测试标准 | 备注 |
| 涂层厚度 | 1 - 5 μm | ISO 2178 | 超薄涂层可达0.5 μm |
| 硬度 (HV) | 1500 - 3500 | ISO 6507 | TiAlN可达3500 HV |
| 沉积温度 | 200 - 500 °C | - | 低温PVD可<200°C |
| 结合力 | HF1-HF6 (Rockwell) | ISO 26443 | HF1为最佳 |
| 表面粗糙度 (Ra) | 0.05 - 0.3 μm | ISO 4287 | 抛光后可<0.05 μm |
| 摩擦系数 | 0.2 - 0.6 | ASTM G99 | DLC可低至0.1 |
| 耐腐蚀性 | 500+小时 (盐雾试验) | ASTM B117 | CrN最佳 |
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