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超高硬度 ：硬度可达4000-8000HV
极低摩擦系数：干摩擦系数低至0.01-0.1
无氢结构：不含氢（传统氢化DLC含10-50%氢），避免氢脆问题
高sp³键比例：sp³键占比70-90%（普通DLC仅30-80%）
优异的生物相容性：无毒性，通过医疗认证（如ISO 10993）
| 参数类别 | 技术指标 | 测试标准/备注 |
| 基本特性 | ||
| 涂层类型 | 氢游离四面体非晶碳 | 过滤阴极电弧(FCVA)/PLD制备 |
| 主要成分 | 纯碳(sp³键主导) | 无金属/氢掺杂 |
| 力学性能 | ||
| 硬度 | 3000-9000 HV | 纳米压痕法(ISO 14577) |
| 弹性模量 | 300-600 GPa | 接近单晶金刚石(1050 GPa) |
| 摩擦系数(干摩擦) | 0.01-0.1 | 球-盘试验(ASTM G99) |
| 磨损率 | <1×10⁻⁷ mm³/(N·m) | 高频线性磨损测试 |
| 结构特性 | ||
| sp³键含量 | 70-90% | XPS/EELS分析 |
| 密度 | 2.8-3.3 g/cm³ | 接近金刚石(3.5 g/cm³) |
| 表面粗糙度(Ra) | ≤0.05 μm(抛光后) | 白光干涉仪测量 |
| 物理化学性能 | ||
| 耐温性 | ≤350°C(惰性环境) | 高温XRD检测相变 |
| 热导率 | 5-15 W/(m·K) | 激光闪射法(ASTM E1461) |
| 电阻率 | 10³-10¹⁰ Ω·cm | 四探针法 |
| 折射率(550nm) | 2.0-2.4 | 椭圆偏振仪测量 |
| 工艺参数 | ||
| 沉积温度 | 室温-200°C | 兼容低温基材 |
| 沉积速率 | 0.1-1 μm/h | FCVA工艺典型值 |
| 涂层厚度 | 0.5-3 μm(功能性) | 应力限制最大厚度 |
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